2015/07/10 次世代向け電子ビーム式半導体ウエーハ検査計測技術開発で協業
2015/02/20 代表取締役社長交代のお知らせ
2014/09/01 東レエンジニアリング株式会社との資本・業務提携のお知らせ
2014/05/01 山崎裕一郎、当社執行役員CTO(Chief Technology Officer)に就任